בדיקת זווית ההטיה של נושאי עדשות

חיישני תזוזה קיבוליים מודדים את זווית ההטיה של נושאי העדשות באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי. המדידה המדויקת מבטיחה הקרנה חזרתית. כמה חיישנים מודדים מול הנושא המתכתי, והרזולוציה הגבוהה מאוד שלהם מאפשרת חשיפה מדויקת של הפרוסה.

‏כמה חיישני תזוזה קיבוליים מודדים אל הנשא המתכתי של העדשה. היישום עוסק בבדיקת נטיית הנשא.

‏המקור מתאר כמה חיישנים המודדים אל הנשא כדי לעקוב אחר הנטייה שלו, כחלק מבקרת מיקום המערכת האופטית.

‏מדידה מדויקת וחוזרת של מיקום הנשא תומכת בהקרנה חוזרת ובהחשפה מדויקת של הוייפר.