פתרונות מדידה למוליכים למחצה ואלקטרוניקה

יישומים

• CAST 2: ניהול בדיקות סחרור

  CAST 2 מבקרת ומנטרת נתוני מדידה במתקן בדיקות סחרור לתמיכה בתהליך ובאיכות.

  קראו עוד על הפתרון CAST2
  

• אינטרפרומטר אור לבן למיקום מסכות בליתוגרפיה

  תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה וביציבות ארוכת טווח להשגת דיוק מרבי.

  קראו עוד על הפתרון interferoMETER 5400
  

• בדיקת זווית ההטיה של נושאי עדשות

  חיישני תזוזה קיבוליים מודדים את זווית ההטיה של נושאי העדשות באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי.

  קראו עוד על הפתרון קיבולי
  

• בדיקת חריצי הייחוס במטילי סיליקון

  במטילי סיליקון יש לעיתים חריצי ייחוס הדרושים ליישורם.

  קראו עוד על הפתרון סורקי לייזר וחיישני פרופיל 2D/3D
  

• בדיקת מידות של מטילי סיליקון

  סורקי פרופיל לייזר של Micro-Epsilon בודקים את הגאומטריה המלאה של מוטות סיליקון ומאפשרים לקבוע סטיות גאומטריות במטיל לפני חיתוכו.

  קראו עוד על הפתרון סורקי לייזר וחיישני פרופיל 2D/3D
  

• בדיקת סדקים ושברים בפרוסות

  חיישנים קונפוקליים כרומטיים של Micro-Epsilon מזהים סדקים ופגמים אחרים בפרוסה.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• בקרת מישוריות פרוסות בחיבור היברידי

  בחיבור היברידי בייצור מוליכים למחצה מחברים ישירות פרוסות או שבבים דרך משטחי נחושת, ללא כדורי הלחמה.

  קראו עוד על הפתרון קיבולי
  

• זיהוי ומדידת בליטות מגע על פרוסות סיליקון

  חיישני תזוזה קונפוקליים כרומטיים של Micro-Epsilon משמשים לבדיקת בליטות המגע.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• זיהוי ומדידת סימני ניסור

  חיישנים קונפוקליים כרומטיים מזהים ומודדים אוטומטית סימני ניסור בפרוסות.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• זיהוי מדויק של חריצי ייחוס בפרוסות זכוכית

  ייצור שבבים איכותיים על פרוסות זכוכית דורש יישור ומיקום מדויקים.

  קראו עוד על הפתרון optoCONTROL CLS1000
  

• מדידת גובה בליטות במצעי שבבים

  בליטות בגודל 50 עד 350 µm נבדקו בדרך כלל במצלמות במהלך הייצור.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• מדידת זווית ההטיה של פרוסות

  המיקום המדויק של הפרוסה חשוב לשינועה.

  קראו עוד על הפתרון אינטרפרומטר
  

• מדידת חזית גל לאופטיקה ברמת פרוסה

  בדיקת אופטיקה ברמת פרוסה דורשת דיוק ויעילות: יש לבדוק ולתעד רכיבים רבים בזמן קצר.

  קראו עוד על הפתרון
  

• מדידת עובי ומבנה של פרוסות סולריות

  הייצור מתחיל בפרוסות גולמיות הנחתכות ממטילי חומר.

  קראו עוד על הפתרון capaNCDT DT62xx controllers
  

• מדידת עובי מדויקת של פרוסות סיליקון

  חיישני תזוזה קיבוליים משמשים למדידת עובי מדויקת של פרוסות.

  קראו עוד על הפתרון קיבולי
  

• מדידת עובי פרוסות ושונות העובי הכוללת TTV

  חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים משני הצדדים את עובי הפרוסה ואת שונות העובי הכוללת (Total Thickness Variation).

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• מדידת צורת פרוסת מוליך־למחצה בתלת־ממד

  מערכות דפלקטומטריה reflectCONTROL מודדות שטיחות או מישוריות של פרוסות בקוטר 150 mm בתמונה אחת.

  קראו עוד על הפתרון reflectCONTROL
  

• מדידת קימור ועיוות של פרוסות מוליך־למחצה

  חיישנים קונפוקליים כרומטיים סורקים את פני הפרוסה לזיהוי קימור, עיקום ועיוות.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• מיקום במת הפרוסה

  חיישני Micro-Epsilon ללא מגע מנטרים את מיקום במת הפרוסה ומודדים תנועות XYZ דינמיות מאוד בתאוצות גבוהות.

  קראו עוד על הפתרון קיבולי
  

• מיקום במת הפרוסה באמצעות אינטרפרומטרי אור לבן

  מערכת האור הלבן interferoMETER IMS5600 של Micro-Epsilon מנטרת את מיקום במת הפרוסה ומודדת תנועות XYZ בתאוצות גבוהות מאוד.

  קראו עוד על הפתרון interferoMETER 5600-DS
  

• מיקום במת הפרוסה באמצעות חיישנים קיבוליים

  חיישני תזוזה קיבוליים משמשים למיקום עדין של במת הפרוסה.

  קראו עוד על הפתרון קיבולי
  

• מיקום מסכות בליתוגרפיה

  תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי.

  קראו עוד על הפתרון capaNCDT DT62xx controllers
  

• מיקום מערכת העדשות במכונות ליתוגרפיה

  חיישני תזוזה השראתיים ללא מגע, המבוססים על זרמי ערבולת, מודדים את מיקום רכיבי העדשה להשגת דיוק דימות מרבי.

  קראו עוד על הפתרון השראתי
  

• מיקום ננומטרי במכונות ליתוגרפיה

  כדי לחשוף רכיבים בודדים על הפרוסה, מערכת הליתוגרפיה מזיזה אותה למיקום המתאים.

  קראו עוד על הפתרון קיבולי
  

• ניטור הסטייה של מסורי תיל

  מסורי תיל חותכים מטילים בפעולה אחת.

  קראו עוד על הפתרון השראתי
  

• ניטור התנועה הצירית של מסורים טבעתיים

  מסורים טבעתיים משמשים לחיתוך מטילי סיליקון.

  קראו עוד על הפתרון השראתי
  

• ניטור יישור עדשות באמצעות חיישנים קונפוקליים כרומטיים

  כמה חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים ישירות על העדשה כדי לזהות את זווית ההטיה באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• ניטור מערכות אופטיות באמצעות חיישני חזית גל

  חיישני חזית גל Shack-Hartmann של Optocraft מודדים את מצב היישור ואת איכות הדימות של המערכת האופטית כולה.

  קראו עוד על הפתרון
  

• עובי ויפר ושונות עובי כוללת (TTV)

  מדידה כרומטית קונפוקלית של שונות העובי הכוללת בלי מגע בוויפר.

  קראו עוד על הפתרון
  

• קביעת מיקום במהלך שינוע פרוסות

  בשינוע פרוסות נדרשים מיקום מדויק וחזרתיות.

  קראו עוד על הפתרון optoCONTROL 2520
  

• שכבות שקופות ופסי דבק

  חיישנים קונפוקליים כרומטיים משמשים למדידת עובי שכבות מצד אחד.

  קראו עוד על הפתרון קונפוקלי כרומטי
  

• מישוריות משטח האחיזה

  מדידת תזוזה קיבולית ברזולוציה תת-ננומטרית, מתאימה לוואקום.

  קראו עוד על הפתרון
  

• משוב מיקום לשולחן התנועה

  משוב תזוזה ברוחב פס גבוה עבור לולאות מיקום מדויקות.

  קראו עוד על הפתרון