זיהוי ומדידת סימני ניסור

חיישנים קונפוקליים כרומטיים מזהים ומודדים אוטומטית סימני ניסור בפרוסות. פיצוי מהיר על מאפייני המשטח מתאים את מחזורי החשיפה ושומר על יציבות אות במשטחים בעלי החזרה משתנה. סבילות לזווית נטייה גדולה וכתם אור זעיר מאפשרים לזהות באמינות סימני ניסור ושקעים אחרים.

‏חיישנים קונפוקליים כרומטיים מזהים את סימני הניסור והשקעים על פני הוייפר. כתם האור הקטן מתאים למדידת פרטים קטנים במשטח.

‏פיצוי המשטח המהיר מתאים את מחזורי החשיפה לשינויי ההחזר. מטרתו לשמור על יציבות האות לאורך פני הוייפר.

‏בסביבת סימני הניסור קיימים שיפועים ושקעים. היצרן מציין סבילות לזוויות הטיה גדולות וכתם קטן כמאפיינים המסייעים למדידה שלהם.