בדיקת מידות של מטילי סיליקון

סורקי פרופיל לייזר של Micro-Epsilon בודקים את הגאומטריה המלאה של מוטות סיליקון ומאפשרים לקבוע סטיות גאומטריות במטיל לפני חיתוכו. במטילים יש לעיתים חריצי ייחוס הדרושים ליישורם. סורקי לייזר כחול של Micro-Epsilon מודדים את פרופיל החריצים בדיוק גבוה לצורך בדיקת דיוק המידות.

‏סורקי פרופיל לייזר בודקים את גאומטריית המטיל לפני הפרדתו לוייפרים, כדי לזהות סטיות ממדיות לפני החיתוך.

‏סורקי לייזר כחול מודדים את פרופיל החריץ ובודקים את התאמת צורתו למידות הנדרשות ליישור המטיל.

‏לא. היישום מתאר בדיקת גאומטריית המטיל כולו ובנוסף בדיקת פרופיל חריצי הייחוס.