מדידת עובי מדויקת של פרוסות סיליקון

חיישני תזוזה קיבוליים משמשים למדידת עובי מדויקת של פרוסות. שני חיישנים ניצבים זה מול זה ומודדים את העובי, וכן פרמטרים נוספים כגון כפיפה או סימני ניסור. מיקום הפרוסה בתוך מרווח המדידה יכול להשתנות.

‏שני החיישנים ממוקמים זה מול זה ומודדים משני צדי הוייפר. השילוב מאפשר למדוד את עוביו.

‏היישום מתאר מדידה שבה מיקום הוייפר במרווח יכול להשתנות. יש לשמור את שני צדי המדידה בתחום העבודה של התצורה שנבחרה.

‏המקור מציין שניתן לזהות גם סטייה מפני המישור וסימני ניסור, באמצעות נתוני המדידה משני הצדדים.