בדיקת חריצי הייחוס במטילי סיליקון

במטילי סיליקון יש לעיתים חריצי ייחוס הדרושים ליישורם. סורקי לייזר כחול של Micro-Epsilon בודקים את דיוק מידות החריצים ומודדים את הפרופיל שלהם בדיוק גבוה. הסורקים מועברים מעל המטיל ומפיקים נתוני פרופיל מדויקים. טכנולוגיית Blue Laser מאפשרת רכישת מדידות ביציבות אות גבוהה.

‏החריץ משמש ליישור המטיל. מדידת הפרופיל שלו בודקת את דיוק המידות של תכונת הייחוס הזאת.

‏סורק לייזר כחול מועבר מעל המטיל ואוסף נתוני פרופיל של החריץ.

‏היצרן מציין יציבות אות גבוהה ברכישת פרופיל החריץ. היא תומכת בבדיקה הממדית של פני הסיליקון.