מדידה מדויקת של צורת משטחי מראות

מראות מישוריות משמשות בהטיית אלומה מהירה בעיבוד לייזר ובתקשורת במרחב חופשי. סטיות מצורת המשטח הרצויה יוצרות הסטת אלומה והפסד הספק אופטי.

טופוגרפיה מבוססת חזית גל בתצורת אור מוחזר מזהה מראות פגומות. מדידת המישוריות ושגיאת חזית הגל המוחזרת משמשת גם למעקב מגמות ייצור. היתרונות כוללים בדיקה ללא מגע, יציבות פנימית של 2nm RMS וקצבי שחזור חזית גל של 10Hz ומעלה.

ניתן למדוד גם מראות כדוריות ואספריות. SHSWorks מספקת רדיוס קודקוד, קבוע קוני ופירוק זרניקה מפורט של סטיית הצורה התלת־ממדית (3D).

SHSInspect RL מודד סטיית צורת מראות מישוריות, כדוריות ואספריות; לפי המקור ניתן להשיג דיוק בתחום lambda/20 PVr.

מקור רשמי של היצרן