ניטור יישור עדשות באמצעות חיישנים קונפוקליים כרומטיים
כמה חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים ישירות על העדשה כדי לזהות את זווית ההטיה באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי.
כמה חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים ישירות על העדשה כדי לזהות את זווית ההטיה באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי. בניגוד לחיישנים אלקטרומגנטיים, הם מודדים באופן אמין גם על משטחי זכוכית. קצב המדידה הגבוה מאפשר לזהות באופן אמין גם שינויים דינמיים בתנועת העדשה.
מוצרים וטכנולוגיות ליישום
הבעיה
כמה חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים ישירות על העדשה כדי לזהות את זווית ההטיה באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי.
השיטה
כמה חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים ישירות על העדשה כדי לזהות את זווית ההטיה באמצעות מדידה בדיוק ננומטרי. בניגוד לחיישנים אלקטרומגנטיים, הם מודדים באופן אמין גם על משטחי זכוכית. קצב המדידה הגבוה מאפשר לזהות באופן אמין גם שינויים דינמיים בתנועת העדשה.