מיקום ננומטרי במכונות ליתוגרפיה

כדי לחשוף רכיבים בודדים על הפרוסה, מערכת הליתוגרפיה מזיזה אותה למיקום המתאים. חיישני תזוזה קיבוליים מודדים את המיקום לאורך מסלול התנועה ומאפשרים מיקום בדיוק ננומטרי.

‏המערכת מביאה אזורים שונים של הוייפר למיקום ההחשפה הנדרש, כדי להאיר את הרכיבים המתאימים בתהליך.

‏חיישני התזוזה מודדים את המיקום לאורך מסלול התנועה, לצורך מיקום מדויק של הוייפר ביחס לעמדת ההחשפה.

‏לא. היישום משתמש בחיישני תזוזה קיבוליים למעקב אחר המיקום ללא מגע עם המטרה.