דלג לתוכן

מיקום מסכות בליתוגרפיה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי.

מיקום מסכות בליתוגרפיה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי. חיישנים קיבוליים של Micro-Epsilon מאפשרים מיקום מסכות בדיוק ננומטרי בזכות הרזולוציה הגבוהה. המבנה המותאם לוואקום מאפשר שימוש בחיישנים ובכבלים גם בוואקום גבוה במיוחד.

מקור רשמי של היצרן

מוצרים וטכנולוגיות ליישום

הבעיה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי.

השיטה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי. חיישנים קיבוליים של Micro-Epsilon מאפשרים מיקום מסכות בדיוק ננומטרי בזכות הרזולוציה הגבוהה. המבנה המותאם לוואקום מאפשר שימוש בחיישנים ובכבלים גם בוואקום גבוה במיוחד.

שאלות נפוצות

תשובות לשאלות הנפוצות ביותר על המוצרים והשירותים שלנו

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי.

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה ולאורך זמן כדי להשיג דיוק מרבי. חיישנים קיבוליים של Micro-Epsilon מאפשרים מיקום מסכות בדיוק ננומטרי בזכות הרזולוציה הגבוהה. המבנה המותאם לוואקום מאפשר שימוש בחיישנים ובכבלים גם בוואקום גבוה במיוחד.

‏חיישני תזוזה קיבוליים מודדים את תנועת המכונה לצורך מיקום מדויק של המסכה. עמוד היישום מפנה למערכת ‎capaNCDT 6200.‎

‏תהליך הליתוגרפיה דורש מעקב ברזולוציה גבוהה לאורך זמן אחר תנועות המכונה. מיקום המסכה נשען על המדידה היציבה הזאת.

‏היצרן מתאר חיישנים וכבלים בתכנון המותאם לוואקום אולטרה־גבוה. יש לבחור את רכיבי הוואקום המתאימים, ולא להסיק שכל רכיב במערכת מיועד ל־‎UHV.‎

לא מצאתם את התשובה שחיפשתם?

צרו קשר עם המומחים שלנו

למידע נוסף

צור קשר

הטכנולוגיה שלנו מוטמעת בתהליכי הייצור והמחקר המובילים בישראל ובעולם.

שלחו לנו הודעה

דוא"ל או טלפון – מספיק אחד מהם

דוא"ל או טלפון – מספיק אחד מהם

0 מתוך 500 מילים

פתיחה בגוגל מפות (נפתח בלשונית חדשה)