מיקום מערכת העדשות במכונות ליתוגרפיה
חיישני תזוזה השראתיים ללא מגע, המבוססים על זרמי ערבולת, מודדים את מיקום רכיבי העדשה להשגת דיוק דימות מרבי.
חיישני תזוזה השראתיים ללא מגע, המבוססים על זרמי ערבולת, מודדים את מיקום רכיבי העדשה להשגת דיוק דימות מרבי. בהתאם למערכת העדשות, חיישני Micro-Epsilon מזהים תנועה ומיקום בעד 6 דרגות חופש. תגובת התדר הגבוהה מאפשרת לחיישני eddyNCDT לנטר גם תנועות דינמיות מאוד של מערכת העדשות.
מוצרים וטכנולוגיות ליישום
הבעיה
חיישני תזוזה השראתיים ללא מגע, המבוססים על זרמי ערבולת, מודדים את מיקום רכיבי העדשה להשגת דיוק דימות מרבי.
השיטה
חיישני תזוזה השראתיים ללא מגע, המבוססים על זרמי ערבולת, מודדים את מיקום רכיבי העדשה להשגת דיוק דימות מרבי. בהתאם למערכת העדשות, חיישני Micro-Epsilon מזהים תנועה ומיקום בעד 6 דרגות חופש. תגובת התדר הגבוהה מאפשרת לחיישני eddyNCDT לנטר גם תנועות דינמיות מאוד של מערכת העדשות.