מיקום במת הפרוסה באמצעות חיישנים קיבוליים

חיישני תזוזה קיבוליים משמשים למיקום עדין של במת הפרוסה. הם מודדים את מיקום הבמה בכמה נקודות, במיוחד לצורך יישור עדין. המבנה התלת-מוליכי הקונצנטרי שלהם מפחית רגישות לשדות אלקטרומגנטיים ומאפשר רזולוציה בתחום הננומטרי. החיישנים מציעים גם יציבות ארוכת טווח גבוהה מאוד. הם פועלים ללא מגע ומותאמים לוואקום, לרבות ואקום גבוה במיוחד (UHV).

‏החיישנים מודדים את מיקום הבמה בכמה נקודות. נתוני המיקום תומכים בכוונון וביישור עדין של הבמה.

‏המקור מציין רזולוציה בתחום הננומטרים, יציבות ארוכת טווח ועמידות להפרעות אלקטרומגנטיות. אלה מאפיינים נפרדים, ולא נתון משולב של דיוק מוחלט.

‏היישום מתאר חיישנים המיועדים לוואקום ושניתן להשתמש בהם גם ב־‎UHV.‎ יש לשמר את בחירת גרסת הראש ורכיבי ההתקנה המותאמים לסביבה זו.