מדידת זווית ההטיה של פרוסות
המיקום המדויק של הפרוסה חשוב לשינועה.
המיקום המדויק של הפרוסה חשוב לשינועה. בזמן הזנת הפרוסה, שני אינטרפרומטרי אור לבן מודדים עליה ומאפשרים לקבוע את זווית ההטיה האופקית. האינטרפרומטרים של Micro-Epsilon מספקים ערכי מרחק מוחלטים ברזולוציה תת-ננומטרית. המדידה מאפשרת דיוק מיקום מרבי בעת הרמה והוצאה של פרוסות.
מוצרים וטכנולוגיות ליישום
הבעיה
המיקום המדויק של הפרוסה חשוב לשינועה.
השיטה
המיקום המדויק של הפרוסה חשוב לשינועה. בזמן הזנת הפרוסה, שני אינטרפרומטרי אור לבן מודדים עליה ומאפשרים לקבוע את זווית ההטיה האופקית. האינטרפרומטרים של Micro-Epsilon מספקים ערכי מרחק מוחלטים ברזולוציה תת-ננומטרית. המדידה מאפשרת דיוק מיקום מרבי בעת הרמה והוצאה של פרוסות.