מדידת עובי פרוסות ושונות העובי הכוללת TTV

חיישנים קונפוקליים כרומטיים מודדים משני הצדדים את עובי הפרוסה ואת שונות העובי הכוללת (Total Thickness Variation). פרופיל העובי מאפשר לזהות קימור ועיוות של הפרוסה. קצבי מדידה גבוהים מאפשרים למדוד את עובי הפרוסה כולה בזמני מחזור קצרים.

‏נבדקים עובי הוייפר והשינוי בעובי על פניו, ‎Total Thickness Variation.‎ היישום משתמש במדידה קונפוקלית משני הצדדים.

‏לא. המקור מתאר חיישנים קונפוקליים המודדים את הוייפר משני צדדיו. זהו סידור שונה ממדידת שכבה שקופה מצד אחד.

‏רכישת מדידות בקצב גבוה מאפשרת לאסוף את פרופיל העובי של הוייפר במחזור קצר. קצב המערכת נבחר לפי צירוף הראש והבקר המתאים לסריקה.