אינטרפרומטר אור לבן למיקום מסכות בליתוגרפיה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים מדידת תנועות מכונה ברזולוציה גבוהה וביציבות ארוכת טווח להשגת דיוק מרבי. אינטרפרומטר האור הלבן IMS5400 של Micro-Epsilon מאפשר מיקום מסכות בדיוק ננומטרי באמצעות אלגוריתמי עיבוד ייעודיים ופיצוי טמפרטורה פעיל. חיישנים, כבלים ומעברי כבל המותאמים לוואקום מאפשרים שימוש בסביבות ואקום.

‏היישום משתמש באינטרפרומטר אור לבן ‎IMS5400‎ של ‎Micro-Epsilon‎ למדידת תנועות המכונה ולמיקום המסכה.

‏היצרן מציין אלגוריתמי עיבוד ייעודיים ופיצוי טמפרטורה פעיל, כחלק מהפתרון למיקום מדויק ויציב לאורך זמן.

‏המקור מתאר חיישנים, כבלים ומעברי כבל המותאמים לוואקום. ההתאמה נדרשת לשרשרת ההתקנה הרלוונטית, ולא רק לראש המדידה.