מדידת צורת פרוסת מוליך־למחצה בתלת־ממד

מערכות דפלקטומטריה reflectCONTROL מודדות שטיחות או מישוריות של פרוסות בקוטר 150 mm בתמונה אחת. החיישן מקרין פסים, והמצלמות המובנות קולטות אותם. סטיות גאומטריות מעוותות את התבנית והתוכנה מנתחת זאת. מתקבל ייצוג תלת־ממדי מדויק של המשטח המחזיר, המאפשר לקבוע טופוגרפיה בדיוק מיקרומטרי.

‏המערכת מקרינה תבנית פסים על הוייפר ומצלמותיה קולטות את ההשתקפות. התוכנה מנתחת את עיוות התבנית כדי לשחזר את צורת המשטח בתלת־ממד.

‏הדוגמה מתייחסת לוייפר בקוטר ‎150 mm.‎ התאמה לקוטר אחר מחייבת בחירת מערכת ושדה מדידה מתאימים.

‏ביישום המתואר המישוריות נמדדת מתוך תמונה אחת של המשטח. ניתוח הדפלקטומטריה מספק ייצוג תלת־ממדי של הטופוגרפיה המחזירה אור.