מדידת צבע של ציפויי ואקום בקו הייצור
ציפויי ואקום משמשים ברכב, באופטיקה, ברפואה ובאלקטרוניקה.
ניטור צבע ורוויה של ציפויים ישירות בתהליכי PVD או CVD בוואקום. מערכת colorSENSOR CFO עם חיישני CFS ייעודיים מבצעת מדידה רציפה בתוך תא הוואקום.
האתגר היישומי
ניטור צבע ורוויה של ציפויי ואקום במהלך PVD או CVD.
תנאי המדידה
המקור מדווח על לחץ עד 10⁻⁵ mbar וטמפרטורה עד 600 °C. אלה תנאי יישום ולא דירוגי מוצר ללא זיהוי וריאנט חיישן.
שיטת המדידה והמערכת
מערכת colorSENSOR CFO עם חיישני CFS ייעודיים מבצעת מדידת צבע רציפה בתוך תא הוואקום.
רכיבי המערכת המוזכרים במקור
- colorSENSOR CFO
- CFS sensors
התוצאה
המקור מדווח על חזרתיות ΔE < 0.3 ועל תדר מדידה עד 30 kHz.
הבעיה
ציפויי ואקום משמשים ברכב, באופטיקה, ברפואה ובאלקטרוניקה.
השיטה
ציפויי ואקום משמשים ברכב, באופטיקה, ברפואה ובאלקטרוניקה. צבע, רוויה וברק תלויים בפרמטרי התהליך, וגם סטיות קטנות נראות לעין, ולכן נדרשת בדיקת צבע מדויקת וחזרתית.