מיקום במת הפרוסה באמצעות אינטרפרומטרי אור לבן

מערכת האור הלבן interferoMETER IMS5600 של Micro-Epsilon מנטרת את מיקום במת הפרוסה ומודדת תנועות XYZ בתאוצות גבוהות מאוד. מערכת המדידה האופטית המדויקת משיגה רזולוציה בתחום הננומטרי ומאפשרת מיקום בדיוק ננומטרי לחשיפה. ראשי המדידה מותאמים לוואקום, והמערכת אינה רגישה לשדות מגנטיים חזקים.

‏היישום מתאר את אינטרפרומטר האור הלבן ‎interferoMETER IMS5600‎ של ‎Micro-Epsilon‎ למדידת תנועות ‎XYZ‎ של הבמה.

‏לא. המקור מתאר מדידת במה בתאוצות גבוהות מאוד, ברזולוציה בתחום הננומטרים, כדי לתמוך במיקומה בזמן ההחשפה.

‏המקור מציין ראשי מדידה המותאמים לוואקום. התאמת ראש המדידה אינה אומרת שכל האלקטרוניקה מותקנת בתוך התא.