מיקום במת הפרוסה
חיישני Micro-Epsilon ללא מגע מנטרים את מיקום במת הפרוסה ומודדים תנועות XYZ דינמיות מאוד בתאוצות גבוהות.
חיישני Micro-Epsilon ללא מגע מנטרים את מיקום במת הפרוסה ומודדים תנועות XYZ דינמיות מאוד בתאוצות גבוהות. חיישנים קיבוליים וחיישני זרמי ערבולת משיגים רזולוציה ננומטרית כדי להבטיח מיקום מדויק לחשיפה. הם מתאימים ליישומי ואקום ואינם רגישים לשדות מגנטיים חזקים.
מוצרים וטכנולוגיות ליישום
הבעיה
חיישני Micro-Epsilon ללא מגע מנטרים את מיקום במת הפרוסה ומודדים תנועות XYZ דינמיות מאוד בתאוצות גבוהות.
השיטה
חיישני Micro-Epsilon ללא מגע מנטרים את מיקום במת הפרוסה ומודדים תנועות XYZ דינמיות מאוד בתאוצות גבוהות. חיישנים קיבוליים וחיישני זרמי ערבולת משיגים רזולוציה ננומטרית כדי להבטיח מיקום מדויק לחשיפה. הם מתאימים ליישומי ואקום ואינם רגישים לשדות מגנטיים חזקים.