אפיון עדשות ומערכות אופטיות לליתוגרפיה

מערכות ליתוגרפיה כוללות אופטיקה ועדשות מורכבות, למשל לבדיקת פרוסות. עליהן להתמודד עם עוצמות גבוהות ואיכות דימות מחמירה. ניטור האיכות וחזית הגל המועברת נדרש מאב־טיפוס עד ייצור המוני.

חיישני Shack-Hartmann בתחומי DUV ו־UV מודדים את המערכת בדיוק וביציבות פנימית גבוהה. ניתוח זרניקה מזהה אי־יישור קטן; פונקציות הקלט והפלט בתוכנה מאפשרות להשתמש במידע גם לכוונון אוטומטי.

SHSInspect מודדת חזית גל בשדה, אורך מוקד, PSF/MTF ועקמומיות שדה. המדידה האוטומטית למחצה מצמצמת השפעת מפעיל.

SHSLab בתחומי DUV ו־UV בין 193nm ל־400nm מאפשר כוונון וניטור מהירים ומדויקים. SHSInspect משמשת לאפיון מקיף של עדשות.

מקור רשמי של היצרן