בקרת מישוריות פרוסות בחיבור היברידי
בחיבור היברידי בייצור מוליכים למחצה מחברים ישירות פרוסות או שבבים דרך משטחי נחושת, ללא כדורי הלחמה.
מדידת סטיות צורה של פרוסה או שבב בזמן אמת לפני חיבור היברידי. מערכי חיישני מרחק קיבוליים סורקים את פני הפרוסות ומספקים נתונים ליישור ולתיקון מיקום בציר Z.
האתגר היישומי
מדידת סטיות מישוריות של פרוסות או שבבים לפני Hybrid Bonding.
תנאי המדידה
לפי המשימה ניתן לסרוק את הצד העליון והתחתון ולהשתמש באזורים מפולחים של שולחן האחיזה. לא צוין דגם חיישן או ערך ביצוע מדויק.
שיטת המדידה והמערכת
מערכי חיישנים קיבוליים סורקים את פני הפרוסות והנתונים משמשים ליישור אקטיבי ולתיקון מיקום של שלבי הייצור.
רכיבי המערכת המוזכרים במקור
- capacitive distance sensors
מוצרים וטכנולוגיות ליישום
הבעיה
בחיבור היברידי בייצור מוליכים למחצה מחברים ישירות פרוסות או שבבים דרך משטחי נחושת, ללא כדורי הלחמה.
השיטה
בחיבור היברידי בייצור מוליכים למחצה מחברים ישירות פרוסות או שבבים דרך משטחי נחושת, ללא כדורי הלחמה. בחיבור die-to-wafer (D2W) או wafer-to-wafer (W2W), מדידת מישוריות בזמן אמת חיונית לאמינות התהליך.